近期一位客戶委托了一項(xiàng)測(cè)試來(lái)測(cè)量薄膜材料的厚度。這種薄膜材料通常是um級(jí)(1um=0.001mm)。用普通方法測(cè)量比較困難。在這里,利用一套金相顯微鏡及其配套的軟件測(cè)量系統(tǒng),成功地完成了測(cè)量任務(wù)。
[檢測(cè)原理]用金相顯微鏡檢測(cè)斷面,用直尺直接測(cè)量金屬鍍層和氧化膜的局部厚度。
【參考標(biāo)準(zhǔn)】GB/t6462-2005
金相顯微鏡及金相測(cè)量軟件
金相顯微鏡測(cè)量涂層厚度
【檢測(cè)范圍】一般情況下,試樣檢測(cè)厚度大于1um時(shí),以保證測(cè)量結(jié)果在誤差范圍內(nèi);厚度越大,誤差越小。
金相顯微鏡測(cè)量涂層厚度
[試驗(yàn)方法的優(yōu)缺點(diǎn)]本試驗(yàn)方法的優(yōu)點(diǎn)是:涂層適用范圍內(nèi)的試驗(yàn)結(jié)果特別準(zhǔn)確,誤差很小(差分尺校準(zhǔn)后的誤差可以小于0.01um),可作為一種有爭(zhēng)議的仲裁方法,其缺點(diǎn)是制備涂層厚度樣品費(fèi)時(shí)費(fèi)力。
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