近期一位客戶委托了一項測試來測量薄膜材料的厚度。這種薄膜材料通常是um級(1um=0.001mm)。用普通方法測量比較困難。在這里,利用一套金相顯微鏡及其配套的軟件測量系統(tǒng),成功地完成了測量任務(wù)。
[檢測原理]用金相顯微鏡檢測斷面,用直尺直接測量金屬鍍層和氧化膜的局部厚度。
【參考標(biāo)準(zhǔn)】GB/t6462-2005
金相顯微鏡及金相測量軟件
金相顯微鏡測量涂層厚度
【檢測范圍】一般情況下,試樣檢測厚度大于1um時,以保證測量結(jié)果在誤差范圍內(nèi);厚度越大,誤差越小。
金相顯微鏡測量涂層厚度
[試驗方法的優(yōu)缺點]本試驗方法的優(yōu)點是:涂層適用范圍內(nèi)的試驗結(jié)果特別準(zhǔn)確,誤差很小(差分尺校準(zhǔn)后的誤差可以小于0.01um),可作為一種有爭議的仲裁方法,其缺點是制備涂層厚度樣品費時費力。
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